He kiʻekiʻe nā koi i ka wā e hoʻohana ai, ʻaʻole wale no ka maʻemaʻe a me ka nui o nā ʻāpana, akā no ka nui o nā ʻāpana like ʻole.ʻO kēia mau koi kiʻekiʻe e hoʻonui iā mākou i ka nānā ʻana i ka wā e hoʻohana ai i nā mea kikoʻī sputtering.
1. Hoʻomākaukau Sputtering
He mea nui ka mālama ʻana i ka maʻemaʻe o ke keʻena māmā, ʻoi aku ka ʻōnaehana sputtering.Hiki i nā lubricants, ka lepo, a me nā koena o ka uhi mua ke hōʻiliʻili i nā mea haumia e like me ka wai, e pili pono ana i ka ʻōpala a me ka hoʻonui ʻana i ka hiki ʻole o ka hana kiʻiʻoniʻoni.ʻO nā kaapuni pōkole, ka hoʻokuʻu ʻia ʻana, nā ʻili kiʻiʻoniʻoni a me nā haumia kemika nui ke kumu maʻamau e nā keʻena sputtering haumia, nā pū, a me nā pahu hopu.
No ka mālama ʻana i nā hiʻohiʻona o ka uhi ʻana, pono e maʻemaʻe a maloʻo ke kinoea sputtering (argon a i ʻole oxygen).Ma hope o ka hoʻokomo ʻana i ka substrate i loko o ke keʻena sputtering, pono e hoʻoneʻe ʻia ka ea e hoʻokō ai i ka pae haʻahaʻa i makemake ʻia no ke kaʻina hana.
2. Hoʻomaʻemaʻe pahuhopu
ʻO ke kumu o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, ʻo ia ka wehe ʻana i ka lepo a i ʻole ka lepo e noho ana ma ka ʻili o ka pahu hopu.
3. Hoʻokomo pahu hopu
ʻO ka mea nui e hoʻolohe ai i ka wā o ka hoʻokomo ʻana i ka mea i hoʻopaʻa ʻia, ʻo ia ka hōʻoia ʻana i kahi pilina wela maikaʻi ma waena o ka mea i hoʻopaʻa ʻia a me ka paia hoʻoluʻu o ka pū sputtering.Inā wili ʻia ka pā hoʻoluʻu a i ʻole ka pā hope, hiki ke hana i ka haki ʻana a i ʻole ke kūlou ʻana i ka wā o ka hoʻokomo ʻana i ka mea i manaʻo ʻia.E hoʻopilikia nui ʻia ka hoʻoili ʻana o ka wela mai ka pahu hope i ka mea i hoʻopaʻa ʻia, ka hopena i ka hiki ʻole ke hoʻopau i ka wela i ka wā o ka sputtering, i ka hopena i ka haki ʻana a i ʻole ka hoʻokaʻawale ʻana o ka mea i hoʻopaʻa ʻia.
4. Nānā kaapuni pōkole a me ka sila
Ma hope o ka hoʻokomo ʻana i ka mea i hoʻopaʻa ʻia, pono e nānā i ka pōkole pōkole a me ka sila ʻana o ka cathode holoʻokoʻa.Manaʻo ʻia e hoʻohana i ka ohmmeter a me ka megohmmeter e hoʻoholo ai inā pōkole ke kaʻapuni o ka cathode.Ma hope o ka hōʻoia ʻana ʻaʻole pōkole ka cathode, hiki ke hana ʻia kahi ʻike leak ma ka hoʻokomo ʻana i ka wai i loko o ka cathode e hoʻoholo ai inā he leakage.
5. Ma mua o ka sputtering mea
Manaʻo ʻia e hoʻohana i ke kinoea argon maʻemaʻe no ka sputtering mua o ka mea i hoʻopaʻa ʻia, hiki ke hoʻomaʻemaʻe i ka ʻili o ka mea i hoʻopaʻa ʻia.Manaʻo ʻia e hoʻonui mālie i ka mana sputtering i ka wā o ke kaʻina hana sputtering no ka mea i manaʻo ʻia.ʻO ka mana o ka mea i hoʻopaʻa ʻia ceramic
Ka manawa hoʻouna: ʻOkakopa-19-2023