He nui nā hana o ka pahu hopu a me nā noi ākea ma nā kahua he nui.ʻO nā lako sputtering hou e hoʻohana i nā magnet ikaika e hoʻohuli i nā electrons e hoʻolalelale i ka ionization o argon a puni ka pahu hopu, kahi e hoʻonui ai i ka likelika o ka hui ʻana ma waena o ka pahuhopu a me nā ion argon.
E hoʻonui i ka nui o ka sputtering.ʻO ka maʻamau, hoʻohana ʻia ka DC sputtering no ka uhi metala, ʻoiai ke hoʻohana ʻia nei ka sputtering kamaʻilio RF no nā mea magnetic ceramic non-conductive.ʻO ke kumu kumu, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i ka hoʻokuʻu ʻana i ka argon (AR) ions ma ka ʻili o ka pahu i loko o ka hakahaka, a e wikiwiki nā cations i loko o ka plasma e holo wikiwiki i ka ʻili electrode maikaʻi ʻole e like me ka mea splashed.Na kēia hopena e lele i waho ka mea o ka pahu hopu a waiho ma luna o ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni.
Ma keʻano laulā, aia kekahi mau hiʻohiʻona o ka uhi kiʻiʻoniʻoni e hoʻohana ana i ke kaʻina sputtering:
(1) Hiki ke hana ʻia ke metala, ka hao a i ʻole insulator i ʻikepili kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
(2) Ma lalo o nā kūlana hoʻonohonoho kūpono, hiki ke hana ʻia ke kiʻiʻoniʻoni me ka haku mele like ʻana mai nā pahuhopu he nui a me ka pilikia.
(3) Hiki ke hana ʻia ka hui ʻana a i ʻole ka hui ʻana o nā mea i hoʻopaʻa ʻia a me nā molekole kinoea ma ka hoʻohui ʻana i ka oxygen a i ʻole nā kinoea hana ʻē aʻe i ka lewa hoʻokuʻu.
(4) Hiki ke ho'omalu 'ia ka ho'okomo 'ana i kēia manawa a me ka manawa sputtering, a ma'alahi ka loa'a 'ana o ka mānoanoa ki'i ki'eki'e.
(5) He mea pono i ka hana ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni ʻē aʻe.
(6) ʻAʻole pili ʻia nā ʻāpana sputtered e ka umekaumaha, a hiki ke hoʻonohonoho manuahi ʻia ka pahuhopu a me ka substrate.
Ka manawa hoʻouna: Mei-24-2022