1. Hoʻomākaukau ʻana i ka sputtering
He mea nui ka mālama ʻana i ke keʻena ʻūhā, ʻoi aku ka maʻemaʻe o ka ʻōnaehana sputtering.ʻO nā koena i hana ʻia e ka ʻaila lubricating, ka lepo a me ka uhi mua e hōʻiliʻili i ka mahu wai a me nā mea haumia ʻē aʻe, e hoʻopili pololei i ka degere vacuum a hoʻonui i ka hiki ʻole o ka hana kiʻiʻoniʻoni.ʻO ke kaʻapuni pōkole a i ʻole ka pahu hopu ʻana, ka ʻili kiʻi ʻoniʻoni a me ka nui o nā mea haumia kemika ke kumu pinepine ʻia e ke keʻena sputtering maʻemaʻe, ka pū a me ka pahu hopu.I mea e hoʻopili ai i nā hiʻohiʻona o ka uhi, pono e hoʻomaʻemaʻe a maloʻo i ke kinoea sputtering (argon a i ʻole oxygen).Ma hope o ka hoʻokomoʻiaʻana o ka substrate i loko o ke keʻena sputtering, pono e hoʻokuʻuʻia ka ea e hiki ai i ka māmā e pono ai ke kaʻina hana.Pono e hoʻomaʻemaʻe ʻia ka uhi pale ma kahi ʻeleʻele, ka paia o ka lua a me ka ʻili e pili ana.I ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ke keʻena maloʻo, paipai mākou i ka hoʻohana ʻana i ka pōkā pōkā aniani e mālama i nā ʻāpana lepo, me ka ea i hoʻopaʻa ʻia e wehe i nā koena sputtering mua a puni ke keʻena, a laila poni mālie i ka ʻili o waho me ka alumina impregnated sandpaper.Ma hope o ka poli ʻana i ka pepa gauze, hoʻomaʻemaʻe ʻia me ka waiʻona, acetone a me ka wai deionized.ʻO ka hui pū, kākoʻo ia i ka hoʻohana ʻana i ka mea hoʻomaʻemaʻe ʻenehana no ka hoʻomaʻemaʻe kōkua.Hoʻopili ʻia nā pahuhopu i hana ʻia e Gaozhan metala i loko o nā ʻeke plastik i hoʻopaʻa ʻia,
Hoʻokumu ʻia i loko o ka mea hoʻomaʻemaʻe.Ke hoʻohana ʻoe i ka pahu hopu, mai hoʻopā pololei i ka pahu hopu me kou lima.'Ōlelo Aʻo: i ka wā e hoʻohana ai i ka pahuhopu, e ʻoluʻolu e hoʻokomo i nā mīkina lima mālama maʻemaʻe a lint.Mai hoʻopā pololei i ka pahu hopu me kou mau lima
2、 Hoʻomaʻemaʻe pahu hopu
ʻO ke kumu o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana, ʻo ia ka wehe ʻana i ka lepo a i ʻole ka lepo i loaʻa ma ka ʻili o ka pahu.
Hiki ke hoʻomaʻemaʻe ʻia ka pahu metala ma nā ʻanuʻu ʻehā,
ʻO ka hana mua, ʻo ia ka hoʻomaʻemaʻe ʻana me kahi lole palupalu lint free i pulu i ka acetone;
ʻO ka lua o ka ʻanuʻu e like me ka hana mua, hoʻomaʻemaʻe me ka waiʻona;
'anuʻu 3: hoʻomaʻemaʻe me ka wai deionized.Ma hope o ka holoi ʻana me ka wai deionized, kau i ka pahu i loko o ka umu a hoʻomaloʻo iā 100 ℃ no 30 mau minuke.
E hoʻomaʻemaʻe ʻia ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ka oxide a me ka ceramic target me ka "lint free cloth".
ʻO ka hā o ka holoi ʻana i ka pahu pahu me ka argon me ke kaomi kiʻekiʻe a me ke kinoea wai haʻahaʻa ma hope o ka wehe ʻana i kahi lepo lepo, i mea e hoʻopau ai i nā ʻāpana haumia a pau i hana ʻia i loko o ka ʻōnaehana sputtering.
3、 Mea hoʻolālā
I ke kaʻina o ka hoʻokomo ʻana i ka pahu hopu, ʻo Z nā mea nui e mālama i ka pilina hoʻoheheʻe wela maikaʻi ma waena o ka pahu hopu a me ka paia hoʻoluʻu o ka pū sputtering.Inā he koʻikoʻi ka warpage o ke koʻokoʻo hoʻoluʻu a i ʻole ka warpage o ka pā hope, e haki a kūlou paha ka mea i hoʻopaʻa ʻia, a e hoʻopilikia nui ʻia ka conductivity thermal mai ke kua i ka pahu hopu, e hopena i ka pau ʻole o ka wela. i ke kaʻina sputtering, a pohā paha ka pahu hopu
I mea e hōʻoiaʻiʻo ai i ka conductivity thermal, hiki ke hoʻopaʻa ʻia kahi papa o ka pepa graphite ma waena o ka paia hoʻoluʻu cathode a me ka pahuhopu.E ʻoluʻolu e nānā pono a hoʻomaopopo pono i ka palahalaha o ka paia hoʻoluʻu o ka pū puʻupuʻu i hoʻohana ʻia e hōʻoia i ka paʻa mau ʻana o ke apo.
Ma muli o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ka wai anuanu i hoʻohana ʻia a me ka lepo e hiki mai ana i ka wā o ka hana ʻana o nā mea hana e waiho ʻia i loko o ka pahu wai hoʻoluʻu cathode, pono e nānā a hoʻomaʻemaʻe i ka pahu wai hoʻomaha cathode i ka wā e hoʻokomo ai i ka pahuhopu e hōʻoia i ka maʻalahi. ke kaapuni ʻana o ka wai hoʻoluʻu a ʻaʻole e pani ʻia ka puka komo a me ka puka.
Hoʻolālā ʻia kekahi mau cathodes e loaʻa kahi wahi liʻiliʻi me ka anode, no laila i ka wā e hoʻokomo ai i ka pahu hopu, pono ia e hōʻoia i ka ʻole o ka hoʻopā ʻana a i ʻole ke alakaʻi ma waena o ka cathode a me ka anode, inā ʻaʻole e hiki mai kahi pōkole pōkole.
E nānā i ka Manual a ka mea hoʻohana mea hana no ka ʻike e pili ana i ka hana pono ʻana i ka pahu hopu.Inā ʻaʻohe ʻike like i loko o ka manual mea hoʻohana, e ʻoluʻolu e hoʻāʻo e hoʻokomo i ka hāmeʻa e like me nā manaʻo kūpono i hāʻawi ʻia e Gaozhan metal.I ka wā e hoʻopaʻa ai i ka mea paʻa, e hoʻopaʻa mua i hoʻokahi pahu ma ka lima, a laila e hoʻopaʻa i kekahi pōkā ma ka diagonal ma ka lima.E hana hou i kēia a hiki i ka paʻa ʻana o nā bolts a pau o ka hāmeʻa, a laila hoʻopaʻa me kekahi mea.
4、 Kaapuni pokole a me ka nana paa
Ma hope o ka pau ʻana o ka hāmeʻa i manaʻo ʻia, pono e nānā i ka pōkole pōkole a me ka paʻa o ka cathode holoʻokoʻa,
Manaʻo ʻia e hoʻoholo inā he pōkole pōkole i loko o ka cathode ma o ka hoʻohana ʻana i kahi mita kū'ē
Hoʻokae laina.Ma hope o ka hōʻoia ʻana ʻaʻohe kaapuni pōkole i loko o ka cathode, hiki ke hoʻokō ʻia ka ʻike leak, a hiki ke hoʻokomo ʻia ka wai i loko o ka cathode e hōʻoia ai inā he wai leakage.
5、 Hoʻomaka mua ka sputtering
Kākoʻo ka target pre sputtering i ka argon sputtering maʻemaʻe, hiki ke hoʻomaʻemaʻe i ka ʻili o ka pahu hopu.Ke kuhi mua ʻia ka pahuhopu, ʻōlelo ʻia e hoʻonui mālie i ka mana sputtering, a ʻo ka piʻi ʻana o ka mana o ka pahu ceramic he 1.5WH / cm2.Hiki ke kiʻekiʻe ke kiʻekiʻe o ka wikiwiki sputtering o ka pahu pahu ma mua o ka pahu pahu pahu ceramic, a ʻo ka piʻi ʻana o ka mana kūpono he 1.5WH / cm2.
Ma ke kaʻina hana o ka sputtering, pono mākou e nānā i ka arcing o ka pahuhopu.ʻO ka manawa ma mua o ka sputtering ma kahi o 10 mau minuke.Inā ʻaʻohe hanana arcing, e hoʻonui mau i ka mana sputtering
I ka mana hoʻonohonoho.Wahi a ka ʻike, ʻo ka mana Z kiʻekiʻe sputtering mana o ka pahu pahu
25watts / cm2, 10watts / cm2 no ka pahu pahu.E ʻoluʻolu e nānā i ke kumu hoʻonohonoho a me ka ʻike o ke kaomi ʻana o ke keʻena ʻumeke i ka wā sputtering i loko o ka manual hana ʻōnaehana o ka mea hoʻohana.ʻO ka mea maʻamau, pono e hōʻoia i ka haʻahaʻa o ka mahana o ka wai ma ka puka o ka wai anuanu ma mua o 35 ℃, akā ʻo Z he mea nui ia e hōʻoia i ka hana pono o ka ʻōnaehana o ka wai anuanu.
ʻO ka holo wikiwiki ʻana o ka wai supercooling e lawe i ka wela, he hōʻoia nui ia e hōʻoia i ka hoʻomau ʻana i ka sputtering me ka mana kiʻekiʻe.No nā pahu metala, ʻōlelo pinepine ʻia ʻo ka kahe wai anuanu
20lpm kaomi wai ma kahi o 5gmp;No nā pahuhopu seramika, ʻōlelo pinepine ʻia ʻo ka kahe wai he 30lpm a ʻo ke kaomi wai ma kahi o 9gmp.
6、 Ka mālama pono
I mea e pale aku ai i ke kaapuni pōkole a me ka arcing i kumu ʻia e ka lua haumia i ke kaʻina sputtering, pono ia e wehe i ka sputter i hōʻiliʻili ʻia ma waena a me nā ʻaoʻao ʻelua o ke track sputtering i nā pae.
Kōkua pū kēia i nā mea hoʻohana e hoʻomau i ka sputter ma z kiʻekiʻe mana kiʻekiʻe
7、 Waihona pahu hopu
Hoʻopili ʻia nā pahuhopu i hāʻawi ʻia e Gaozhan metala i loko o nā ʻeke ʻeke pahu pahu pālua.Paipai mākou i nā mea hoʻohana e mālama i nā pahuhopu, inā he metala a i ʻole ka ceramic, i loko o ka pahu pahu.ʻO ka mea nui, pono e mālama ʻia nā pahu hoʻopaʻa ma lalo o nā kūlana vacuum e pale ai i ka oxidation o ka papa hoʻopaʻa ʻana mai ka hoʻopili ʻana i ka maikaʻi paʻa.E pili ana i ka hoʻopili ʻana o nā pahu metala, ʻōlelo mākou e hoʻopili ʻia ʻo Z i loko o nā ʻeke plastik maʻemaʻe
Ka manawa hoʻouna: Mei-13-2022